下载薄膜晶体管及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:37278522

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本发明公开一种薄膜晶体管及其制备方法和应用,涉及薄膜晶体管技术领域,薄膜晶体管包括从下到上依次层叠设置的TFT驱动背板、第一电极、有源层岛结构、刻蚀阻挡层、第二电极、栅绝缘层和栅电极,刻蚀阻挡层具有接触孔,第二电极通过接触孔与有源层岛结构电...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。

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