下载热衰变材料、使用其的转印薄片及形成图案的方法的技术资料

文档序号:3727794

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一种热衰变材料,其包含作为其主要成分的聚氧化烯树脂,其氧原子的含量为15至55质量%,并且在150至350℃的预定温度加热时,该材料的至少95重量%在10分钟内衰变。...
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