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带导电性图案的结构体的制造方法和套件、系统技术方案
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文档序号:37276075
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本发明涉及带导电性图案的结构体的制造方法和套件、系统。本发明提供一种带导电性图案的结构体的制造方法,其能够形成层间密合性良好的带导电性图案的结构体。一种带导电性图案的结构体的制造方法,其包括下述工序:涂布膜形成工序,将包含含有金属化合物的颗...
该专利属于旭化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成株式会社授权不得商用。
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