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微系统的制造方法技术方案
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文档序号:3727461
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本发明涉及微系统的制造方法,该微系统具有在多个平面中并排和/或以层的方式相互上下设置地由可光固化的材料构成的基体,在该基体的构造中设置的空腔中置入微电子部件,这些微电子部件彼此导电或导热地连接。本发明的特征在于:在置入电子部件后继续进行基体...
该专利属于迈克罗泰克微技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈克罗泰克微技术有限公司授权不得商用。
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