下载随机周期的芯片传送装置的技术资料

文档序号:3727296

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芯片传送装置包括进送芯片的甲承载装置和承载芯片的乙承载装置。传送装置进一步包括传送发动机,传送发动机包括两个或多个能够互相同轴旋转的同轴旋转器。每个同轴旋转器包括一个末端操纵器,其用于从甲承载装置接收芯片并且将接收到的芯片传送到由乙承载装置...
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