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一种半导体芯片生产用的石墨坩埚制造技术
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下载一种半导体芯片生产用的石墨坩埚的技术资料
文档序号:37272209
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本实用新型涉及一种半导体芯片生产用的石墨坩埚,包括坩埚壳体,所述坩埚壳体外侧设置有支撑架,支撑架上开设有通孔,第一转动杆的右侧穿过通孔轴向固定连接在坩埚壳体外侧,坩埚壳体右侧外壁沿第一转动杆的轴向方向固定有第二转动杆,支撑架上端设置有可沿竖...
该专利属于丹东华顺电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过丹东华顺电子有限公司授权不得商用。
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