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本实用新型公开了一种干法刻蚀下部电极清洗水槽，属于电极清洗技术领域，包括可容纳电极的槽体，所述槽体的槽底设置有支撑装置，支撑装置向上延伸且高出槽底，电极放置在支撑装置上并与槽底之间形成空隙，所述槽底还设置有曝气管道，曝气管道分布在电极的下方...
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