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文档序号:3726779

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本发明目的是通过一次扫描操作实现头部设置的多个喷嘴列所吸着多个部件的保持姿势检查以及获得保持姿势检查时间的缩短和精度的提高。为实现该目的,本发明构成为包括:头部(6),其并列配置至少1个以上的喷嘴以及至少并列配置2列以上的喷嘴列;基板保持部...
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