下载毫米波薄膜肖特基二极管的技术资料

文档序号:37267492

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本实用新型公开了一种毫米波薄膜肖特基二极管,所述二极管包括半绝缘GaAs缓冲层,所述半绝缘GaAs缓冲层的上表面的左侧形成有阳极焊盘,所述半绝缘GaAs缓冲层的右侧形成有AlGaAs外延层,所述AlGaAs外延层的上表面形成有GaAs重掺杂...
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