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本发明公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁...
该专利属于北京芯动致远微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京芯动致远微电子技术有限公司授权不得商用。

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