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在本发明的至少一个方面，一种方法包括定位电子器件制造器械的负载锁，从而使负载锁占据第一占地面积；把主架动力源定位在第二占地面积中，其中第二占地面积的大部分位于第一占地面积中，从而减少了电子器件制造器械的覆盖区域。此外，或者可选择地，一个主架...
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