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本发明公开了一种集成组件、自驱动传感装置及集成组件的制作方法，其中，集成组件包括：壳体，壳体内设有固定板；线圈，设置在固定板一侧；第一基板，活动设置在壳体内，且所述第一基板一侧设有与所述线圈相对的磁性件；独立摩擦层，包括第一电介质层及栅格电...
该专利属于首都医科大学所有，仅供学习研究参考，未经过首都医科大学授权不得商用。

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