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本发明涉及一种具有抛光层的化学机械抛光垫。该抛光层含有挤出片材。该挤出片材通过挤出混配的可光聚合组合物然后暴露于UV光来制备。制备。
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该专利属于杜邦电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜邦电子公司授权不得商用。

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