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本实用新型提供了一种电磁感应线圈调节装置及蚀刻设备，涉及半导体生产技术领域，该电磁感应线圈调节装置包括：支撑板、第一线圈调节机构以及第二线圈调节机构；第一线圈调节机构的内圈设有第二线圈调节机构，第一线圈调节机构包括第一调节组件，以及与第一调...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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