下载平面显示基板用铜导线的制备方法的技术资料

文档序号:3726272

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本发明涉及平面显示基板用铜导线的制备方法,其包含的步骤有:提供基板、形成晶种层于基板的表面、形成具有图样的光阻层于晶种层的表面以暴露出晶种层的部分表面、以及电镀铜导线层于部分暴露的晶种层的表面,其中电镀所使用的电解液包括含硫化合物。另外,本...
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