下载磁控管靶联接器和支承设备的技术资料

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涉及一种磁控管靶联接器和支承设备。根据各种实施方式,磁控管靶联接器(301)包括:靶联接器法兰(702);轴(808),该轴在端侧与靶联接器法兰(702)刚性联接,并且在与靶联接器法兰(702)相对置的一侧上具有第一线性支承件部件(8081...
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