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本发明提供的无掩模曝光装置，在将光源发出的光束按照被曝光图案调制，不通过光掩模直接描绘曝光的曝光装置中设置：装载形成有对紫外线光具有灵敏度的感光性树脂层的被曝光印制电路板走行的载物台；发出含有波长３００ｎｍ～４１０ｎｍ范围的至少一部分的波长...
该专利属于日立比亚机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立比亚机械股份有限公司授权不得商用。

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