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本发明提供一种扩散硅芯体测试装置,扩散硅芯体测试装置的结构包括装置主体,其形成有第一轴孔、第二轴孔和第三轴孔,并在顶部形成有多个用于安装扩散硅芯体的安装孔,安装孔与第一轴孔相连通;中心轴,安装于第一轴孔,并形成有椭圆柱面;主动轴,安装于第二...该专利属于中航光电华亿(沈阳)电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中航光电华亿(沈阳)电子科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种扩散硅芯体测试装置,扩散硅芯体测试装置的结构包括装置主体,其形成有第一轴孔、第二轴孔和第三轴孔,并在顶部形成有多个用于安装扩散硅芯体的安装孔,安装孔与第一轴孔相连通;中心轴,安装于第一轴孔,并形成有椭圆柱面;主动轴,安装于第二...