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本实用新型涉及薄膜技术领域，具体涉及一种离子束沉积装备，包括壳体，壳体内设有真空腔室，真空腔室的顶部设有电动伸缩柱，电动伸缩柱的下端连接有镀膜件，真空腔室的顶部且在电动伸缩柱的两侧均设有支撑柱，支撑柱的下端设有倾斜设置的离子源，真空腔室内设...
该专利属于成都超迈光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都超迈光电科技有限公司授权不得商用。

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