下载雾化芯的制备方法及雾化芯的技术资料

文档序号:37259705

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本发明提供了一种雾化芯的制备方法及雾化芯,涉及气溶胶雾化技术领域,雾化芯的制备方法包括如下步骤:将基体、过渡层靶材和发热膜靶材均置于真空室,基体与过渡层靶材间隔设置。将真空室抽真空,再通入氩气,使真空室维持在一个固定的真空度。启动电磁场发生...
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