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本实用新型提供了一种晶圆立体转移装置，其通过第一旋转单元带动驱动底座转动，进而带动晶圆吸取装置转动，再通过驱动装置驱动晶圆吸取装置沿远离或靠近驱动底座的方向移动，可以使得晶圆平台的布置位置更加灵活；例如，可以令晶圆平台竖直设置，固晶平台水平...
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