下载快速降温装置及集成电路分选机的技术资料

文档序号:37258424

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本实用新型公开了一种快速降温装置及集成电路分选机,其中快速降温装置包括导流管、连接支架以及至少一个喷射件,导流管设置有连通的至少一个进气口和至少一个出气口,进气口与气体输入装置连接以接收流动的气体,出气口沿导流管的周向延伸,出气口用于输出流...
该专利属于上海芯丑半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芯丑半导体设备有限公司授权不得商用。

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