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提供能防止数据取得时间的长时间化的带电粒子束装置等。一种带电粒子束装置，包含：消隐器，其进行带电粒子束的消隐；载台，其保持试样且使所述试样能倾斜；消隐控制部，其对带电粒子束的消隐进行控制来向试样照射脉冲束；以及倾斜控制部，其控制试样的倾斜角...
该专利属于日本电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电子株式会社授权不得商用。

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