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本公开的各方面涉及体声波器件，其具有在第一电极和第二电极之间的压电层和悬置在间隙上方的悬置框架结构。该间隙可在第一电极和压电层之间或第二电极和压电层之间。体声波器件可在悬置框架内部具有内部凸起框架部分。间隙可设置在第一和第二电极的延伸超过压...
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