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本发明公开一种边缘扫描装置及金属沾污检测设备，其中，该边缘扫描装置包括：旋转部件，包括承载部，所述承载部用于承载待测试样，所述旋转部件能够带动所述待测试样进行转动；扫描液供给及回收部件，包括喷头，用于吐出和回收扫描液滴；承接部件，包括托臂，...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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