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本发明公开一种叠对计量系统，其可包含照明子系统、集光子系统及控制器。所述照明子系统可包含一或多个照明光学器件，其经配置以在通过平移载物台沿着载物台扫描方向扫描样本时将照明光束引导到所述样本上的叠对目标，其中所述叠对目标包含具有拥有沿着所述载...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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