下载一种碳化硅功率器件及开关元件的技术资料

文档序号:37253340

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本发明公开了一种碳化硅功率器件及开关元件。碳化硅功率器件至少包括一个元胞,元胞包括衬底,衬底包括相对设置的第一表面和第二表面;外延层,外延层位于衬底的第一表面,外延层包括漂移区、位于元胞两侧且在漂移区表面内的体区、位于体区表面内的源区以及围...
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