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具有芯片上传输机构的微机电子组件制造技术
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文档序号:3725271
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夹持用于组装复杂的MEMS装置的部件(50)的载体(10)被传送到中心组装位置。部件以预定顺序堆叠并随后从它们的载体释放。或者,它们设置在适当位置并被释放以落入所需位置。组装区(100)包括载体平面下面的腔,使得夹持在载体内的部件落入该腔。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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