下载金属基底及其制备方法的技术资料

文档序号:37251677

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本发明提供一种金属基底的制备方法,包括:在蓝宝石基底上通过磁控溅射制备金属基底,进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底进行自转,所述自转的转速为30~50转/分钟。还公开该方法制备的金属基底。本发明的金属基底的制备方法,通过磁控溅射这一物理气相沉...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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