金属基底及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种金属基底的制备方法，包括：在蓝宝石基底上通过磁控溅射制备金属基底，进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底进行自转，所述自转的转速为30～50转/分钟。还公开该方法制备的金属基底。本发明专利技术的金属基底的制备方法，通过磁控溅射这一物理气相沉积制备，在蓝宝石基底上溅射过程中，保持蓝宝石以一定转速自转，可以提高溅射制备的金属基底与蓝宝石的附着力，从而减少或避免退火过程中金属挥发产生孔洞。更进一步，通过选择特定的磁控溅射功率，进一步提高金属基底与蓝宝石的附着力，从而防止退火时产生孔洞。从而防止退火时产生孔洞。从而防止退火时产生孔洞。

【技术实现步骤摘要】
金属基底及其制备方法


[0001]本专利技术属于石墨烯制备领域，具体涉及在蓝宝石基底上磁控溅射制备的金属基底及其制备方法。

技术介绍

[0002]石墨烯由于其良好的物理化学性质，如超高的载流子迁移率、高的透光性、良好的机械性能等，受到了广泛的研究并且在透明导电薄膜、光电探测、催化、生物检测等领域显示了其潜在的实用价值。
[0003]在石墨烯的诸多制备方法中，化学气相沉积方法生长石墨烯具有质量高、适用于宏量制备等诸多的优势。现有蓝宝石/金属基底，金属基底磁控溅射制备之后通过退火，使金属基底单晶化，然而在退火过程中金属可能挥发产生孔洞，从而影响后续化学气相沉积生长的石墨烯的品质。为了提高化学气相沉积方法生长的石墨烯的品质，亟待提供一种缺陷少甚至没有缺陷的金属基底。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺陷，本专利技术提供一种作为化学气相沉积生长石墨烯的金属基底及其制备方法。
[0005]本专利技术一方面提供一种金属基底的制备方法，包括：在蓝宝石基底上通过磁控溅射制备金属基底，进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底进行自转，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属基底的制备方法，其特征在于，包括：在蓝宝石基底上通过磁控溅射制备金属基底，进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底进行自转，所述自转的转速为30～50转/分钟。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的溅射功率大于为200W以上。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：对溅射制备的金属基底进行退火，所述退火在氢气和氩气混合气氛下进行，其中氩气和...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜音，阎睿，唐际琳，曹轶森，杨雨佳，彭海琳，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：