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本实用新型公开一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座、滚珠以及滚珠保持架，直线导轨垂直于滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，滑座上设置有套槽，套槽上对应滚动沟的位置设置有滚动槽，滚动沟和滚动槽组成供滚珠移动的滑动通道，滚...
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