本实用新型专利技术公开一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座、滚珠以及滚珠保持架，直线导轨垂直于滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，滑座上设置有套槽，套槽上对应滚动沟的位置设置有滚动槽，滚动沟和滚动槽组成供滚珠移动的滑动通道，滚珠保持架包括第一履带、第二履带和挡块，挡块位于第一履带和第二履带之间，且挡块的两端分别与第一履带和第二履带连接，相邻两个滚珠之间设置有一个挡块，滚珠滚动设置在相邻两个挡块之间。本实用新型专利技术的应用于真空镀膜装置的机械手组件通过设置滚珠保持架，使每个滚珠在滚动时相邻滚珠互不干扰，以此减少滚珠之间的相互碰撞与磨损，降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。
【技术实现步骤摘要】
应用于真空镀膜装置的机械手组件
[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种应用于真空镀膜装置的机械手组件。
技术介绍
[0002]现有技术中，利用机械手组件将待镀膜的基板传输至真空镀膜装置内进行镀膜作业以此替代人工搬运，由于机械手组件在进行直线传输的同时需承载基板自身较高的额定负载，为确保移动过程的稳定性和精度，通常采用滚珠式线性滑轨。滚珠式线性滑轨是由滚珠在滑座和直线导轨之间进行无限滚动循环，从而承受负荷并能将摩擦系数降低使基板更平顺的移动。
[0003]现有技术存在以下缺陷：多个滚珠在滑座和直线导轨之间的滑动通道内滚动时，相邻滚珠相互碰撞易发出金属碰撞噪音，相邻滚珠相互摩擦后摩擦掉落的金属异物堆积易影响滚珠在滑动通道内的滚动流畅度，且异物如果掉落在直线导轨外，还容易掉落在真空镀膜装置内的面板上，影响面板的镀膜质量。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，其滚珠与滚珠之间无碰撞和磨损，噪音小，无异物产生。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]提供一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座以及多个滚珠，所述滑座滑动设置在所述直线导轨上，所述直线导轨垂直于所述滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，所述滑座上设置有套槽，所述直线导轨贯穿所述套槽，所述套槽上对应所述滚动沟的位置设置有滚动槽，所述滚动沟和所述滚动槽组成供所述滚珠移动的滑动通道，还包括滚珠保持架，所述滚珠保持架包括第一履带、第二履带和挡块，所述第一履带和所述第二履带平行，所述挡块位于所述第一履带和所述第二履带之间，且所述挡块的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，相邻两个所述滚珠之间设置有一个所述挡块，所述滚珠滚动设置在相邻两个所述挡块之间。
[0007]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滚珠内穿设有转轴，所述转轴的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，所述转轴与所述直线导轨平行，所述转轴的轴向与所述滚珠的移动方向相垂直。
[0008]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滚珠与所述挡块之间留有间隙。
[0009]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滑动通道包括平行设置的两个第一通道，两个所述第一通道沿竖直方向间隔，所述第一通道的长度沿所述滑座的移动方向延伸，两个所述第一通道的两端分别通过第二通道连通，以使两个所述第一通道和两个所述第二通道形成所述滑动通道。
[0010]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滑动通道的内壁上均设置有用于容纳所述第一履带和所述第二履带的凹槽。
[0011]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述第一履带和所述第二履带与所述凹槽的内壁之间留有间隙。
[0012]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述第一履带和所述第二履带之间对应设置有穿孔，所述转轴的一端设置有固定块，所述转轴的另一端的周侧上设置有螺纹，所述转轴依次穿过所述穿孔，所述螺纹上螺纹连接有螺母。
[0013]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述第一履带和所述第二履带相互远离的一侧分别设置有可供所述固定块和所述螺母嵌入的沉槽。
[0014]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滑座设置有多个，多个所述滑座滑动设置于所述直线导轨上。
[0015]作为应用于真空镀膜装置的机械手组件的优选方案，所述滑座的顶部开设有若干个均匀分布的螺孔。
[0016]本技术的有益效果：本技术的应用于真空镀膜装置的机械手组件通过增设滚珠保持架，伴随多个滚珠在滑动通道的滚动，滚珠保持架同步地在滑动通道内移动，并利用挡块将每个滚珠分隔开来，相邻滚珠之间互不干扰，以此减少滚珠之间的相互碰撞与磨损，降低噪音和磨损异物堆积在滑动通道内影响滚珠滚动的情况发生。
附图说明
[0017]图1是本技术具体实施方式中应用于真空镀膜装置的机械手组件的整体结构示意图。
[0018]图2是沿图1中A
‑
A线的剖面结构示意图。
[0019]图3是本技术具体实施方式中滚珠保持架的结构示意图。
[0020]图4是图3中B处的局部放大图。
[0021]图5是本技术具体实施方式中滚珠的安装结构示意图。
[0022]图中：
[0023]1、直线导轨；11、滑动通道；111、滚动沟；112、滚动槽；
[0024]2、滑座；21、套槽；22、凹槽；23、螺孔；
[0025]3、滚珠；
[0026]4、滚珠保持架；41、第一履带；42、第二履带；43、挡块；44、转轴；441、固定块；442、螺纹；443、穿孔；444、螺母；445、沉槽。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0028]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内
部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0031]结合图1至图5所示，本实施例提供了一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，其包括直线导轨1、滑座2以及多个滚珠3。滑座2滑动设置在直线导轨1上，直线导轨1作为固定元件，滑座2作为移动元件，直线导轨1用来支撑滑座2上承载的基板并引导滑座2沿其长度方向做直线运动。
[0032]直线导轨1垂直于滑座2滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟111，滑座2上设置有套槽2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座以及多个滚珠，所述滑座滑动设置在所述直线导轨上，所述直线导轨垂直于所述滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，所述滑座上设置有套槽，所述直线导轨贯穿所述套槽，所述套槽上对应所述滚动沟的位置设置有滚动槽，所述滚动沟和所述滚动槽组成供所述滚珠移动的滑动通道，其特征在于，还包括滚珠保持架，所述滚珠保持架包括第一履带、第二履带和挡块，所述第一履带和所述第二履带平行，所述挡块位于所述第一履带和所述第二履带之间，且所述挡块的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，相邻两个所述滚珠之间设置有一个所述挡块，所述滚珠滚动设置在相邻两个所述挡块之间。2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滚珠内穿设有转轴，所述转轴的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，所述转轴与所述直线导轨平行，所述转轴的轴向与所述滚珠的移动方向相垂直。3.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滚珠与所述挡块之间留有间隙。4.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滑动通道包括平行设置的两个第一通道，两个所述第一通道沿竖直方向间隔，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：许灿宏，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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