应用于真空镀膜装置的机械手组件制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座、滚珠以及滚珠保持架，直线导轨垂直于滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，滑座上设置有套槽，套槽上对应滚动沟的位置设置有滚动槽，滚动沟和滚动槽组成供滚珠移动的滑动通道，滚珠保持架包括第一履带、第二履带和挡块，挡块位于第一履带和第二履带之间，且挡块的两端分别与第一履带和第二履带连接，相邻两个滚珠之间设置有一个挡块，滚珠滚动设置在相邻两个挡块之间。本实用新型专利技术的应用于真空镀膜装置的机械手组件通过设置滚珠保持架，使每个滚珠在滚动时相邻滚珠互不干扰，以此减少滚珠之间的相互碰撞与磨损，降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。降低噪音和磨损异物堆积的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
应用于真空镀膜装置的机械手组件


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种应用于真空镀膜装置的机械手组件。

技术介绍

[0002]现有技术中，利用机械手组件将待镀膜的基板传输至真空镀膜装置内进行镀膜作业以此替代人工搬运，由于机械手组件在进行直线传输的同时需承载基板自身较高的额定负载，为确保移动过程的稳定性和精度，通常采用滚珠式线性滑轨。滚珠式线性滑轨是由滚珠在滑座和直线导轨之间进行无限滚动循环，从而承受负荷并能将摩擦系数降低使基板更平顺的移动。
[0003]现有技术存在以下缺陷：多个滚珠在滑座和直线导轨之间的滑动通道内滚动时，相邻滚珠相互碰撞易发出金属碰撞噪音，相邻滚珠相互摩擦后摩擦掉落的金属异物堆积易影响滚珠在滑动通道内的滚动流畅度，且异物如果掉落在直线导轨外，还容易掉落在真空镀膜装置内的面板上，影响面板的镀膜质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，其滚珠与滚珠之间无碰撞和磨损，噪音小，无异物产生。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜装置的机械手组件，包括直线导轨、滑座以及多个滚珠，所述滑座滑动设置在所述直线导轨上，所述直线导轨垂直于所述滑座滑动方向的相对两侧分别设置有滚动沟，所述滑座上设置有套槽，所述直线导轨贯穿所述套槽，所述套槽上对应所述滚动沟的位置设置有滚动槽，所述滚动沟和所述滚动槽组成供所述滚珠移动的滑动通道，其特征在于，还包括滚珠保持架，所述滚珠保持架包括第一履带、第二履带和挡块，所述第一履带和所述第二履带平行，所述挡块位于所述第一履带和所述第二履带之间，且所述挡块的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，相邻两个所述滚珠之间设置有一个所述挡块，所述滚珠滚动设置在相邻两个所述挡块之间。2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滚珠内穿设有转轴，所述转轴的两端分别与所述第一履带和所述第二履带连接，所述转轴与所述直线导轨平行，所述转轴的轴向与所述滚珠的移动方向相垂直。3.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滚珠与所述挡块之间留有间隙。4.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜装置的机械手组件，其特征在于，所述滑动通道包括平行设置的两个第一通道，两个所述第一通道沿竖直方向间隔，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：许灿宏，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：