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支承销把持装置及基板支承装置制造方法及图纸
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文档序号:3725053
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本发明廉价地提供一种快速把持、松开支承销的支承销把持装置。使可升降地由把持装置本体(360)保持的进退构件(364)保持把持爪群(362),使其可开闭。在把持装置本体(360)下降时支承销(250)嵌入嵌合孔(386)中而与进退构件(364...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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