下载支承销把持装置及基板支承装置的技术资料

文档序号:3725053

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本发明廉价地提供一种快速把持、松开支承销的支承销把持装置。使可升降地由把持装置本体(360)保持的进退构件(364)保持把持爪群(362),使其可开闭。在把持装置本体(360)下降时支承销(250)嵌入嵌合孔(386)中而与进退构件(364...
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