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本发明公开了一种集成化声波器件及其制造方法，方法包括：S1：制备含有作为第一谐振器第一基底及位于第一基底上方的第二谐振器第二基底的复合基板，并去除部分第二基底形成用于制备第一谐振器的第一制备区；S2：在复合基板的第一制备区制备三明治结构，在...
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