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耐热性树脂叠层膜与含其的覆金属层的叠层膜以及半导体器件制造技术
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文档序号:3724966
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本发明提供了在聚酰亚胺膜等耐热性绝缘膜上叠层了耐热性树脂层的耐热性树脂叠层膜,它是无翘曲的耐热性树脂叠层膜,以及通过耐热性树脂层叠层了耐热性绝缘膜与金属箔的覆金属层的叠层膜,它是在形成布线图案的状态下,没有翘曲的覆金属层的叠层膜。耐热性树脂...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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