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本实用新型公开了一种半导体加工用定位装置，包括底座，所述底座的上表面中间位置固定设置有放置台，所述底座的上表面四周均设置有四组定位板，四组所述定位板的外表面均通过固定机构连接有推杆，所述推杆的另一端焊接有滑块，所述底座的上表面固定安装有供所...
该专利属于苏州英尔捷半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州英尔捷半导体有限公司授权不得商用。

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