下载大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆的技术资料

文档序号:37248474

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本申请涉及大面积OVJP沉积用的分段印刷杆。提供了包括多个印刷头段的OVJP印刷杆,所述印刷头段中的每一个包括印刷头并且能够独立于每个其它印刷头段相对于衬底定位。从而能够维持更一致的印刷头至衬底距离,即使衬底具有不均一的平坦度。有不均一的平...
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