大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆制造技术

本申请涉及大面积OVJP沉积用的分段印刷杆。提供了包括多个印刷头段的OVJP印刷杆，所述印刷头段中的每一个包括印刷头并且能够独立于每个其它印刷头段相对于衬底定位。从而能够维持更一致的印刷头至衬底距离，即使衬底具有不均一的平坦度。有不均一的平坦度。有不均一的平坦度。

【技术实现步骤摘要】
大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆
[0001]分案申请的相关信息
[0002]本申请是申请号为201810435695.4、申请日为2018年5月7日、专利技术名称为“大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆”的中国专利技术专利申请的分案申请。
[0003]相关申请的交叉参考
[0004]本申请是非临时申请并且要求美国临时专利申请第62/501,905号(2017年5月5日提交)和第62/597,605号(2017年12月12日提交)的优先权权益，所述美国临时专利申请各自的全部内容以引入的方式并入本文中。


[0005]本专利技术涉及用于制造包括有机发射层的相对较大面积装置的装置和技术；和包括其的装置，如有机发光二极管和其它装置。

技术介绍

[0006]出于多种原因，利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造所述装置的许多材料相对较为便宜，因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用，如在柔性衬底上的制造。有机光电装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机蒸气射流印刷OVJP沉积系统，其包含一或多个印刷杆，所述多个印刷杆中的每一个印刷杆包含：多个印刷头段，所述多个印刷头段各自包含OVJP印刷头；多个飞行高度距离传感器，所述多个飞行高度距离传感器中的每一者经配置以测量安置在所述印刷杆下方的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离；和多个致动器，其经配置以根据所述衬底与所述印刷杆之间的一或多种距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向，所述距离由所述多个飞行高度距离传感器中的一或多个来测量。2.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，进一步包括：一或多个气体分配通道，其将每个印刷头段连接到远离所述印刷头段而定位的一或多个有机蒸气源单元。3.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中每一个印刷杆的所述印刷头段与单个蒸汽源或多个蒸汽源流体连通。4.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中多个印刷杆的印刷头段与一个公共蒸汽源或多个蒸汽源流体连通。5.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，所述多个印刷杆中的至少一个印刷杆的所述多个印刷头段在与所述至少一个印刷杆相对于所述衬底移动的方向基本上垂直的方向上布置成两行。6.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中所述至少一个印刷杆的所述多个印刷头段安置在所述行中，使得当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，每一行对应的OVJP印刷头的印刷区域在所述衬底上形成单一印刷列。7.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中每个OVJP印刷头包含与载气源和有机材料蒸气源处于流体连通的OVJP沉积喷嘴。8.根据权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：环球展览公司，
类型：发明
国别省市：