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拾取装置及拾取方法制造方法及图纸
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下载拾取装置及拾取方法的技术资料
文档序号:3724841
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本发明的目的在于提供一种拾取装置,其可以在防止粘结薄膜上的芯片受到损伤的情况下拾取芯片。此外,本发明的另一目的在于提供一种拾取装置,其以高成品率拾取粘结薄膜上的芯片。本发明的拾取装置包括:固定于支撑体、且保持附着有芯片的薄膜的框体;在旋转或...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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