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本实用新型公开一种气相沉积设备，包括反应室，反应室内具有内腔，反应室上开设有连通内腔的开口，内腔具有安装腔壁，开口贯穿安装腔壁，安装腔壁上并位于开口的上下两侧均设置有隔热板本体，隔热板本体通过挂钩与安装腔壁连接，位于开口上方的挂钩为第一挂钩...
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