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基于基座式高对比度复合光栅的光学折射率传感器制造技术
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下载基于基座式高对比度复合光栅的光学折射率传感器的技术资料
文档序号:37246997
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本发明公开了一种基于基座式高对比度复合光栅的光学折射率传感器,包括光栅层、中间层和基底,从上到下依次为光栅层、中间层、基底,所述结构包括若干个周期性单元,每个周期性单元包括两个复合的高对比度光栅,所述光栅的光栅横截面为矩型。所述中间层是通过...
该专利属于河北工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北工程大学授权不得商用。
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