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本实用新型公开了一种顶升定位装置，涉及载具定位技术领域，其中，顶升定位装置包括基座、一级顶升机构、二级顶升机构、弹性浮动定位机构和高度限位机构。当载具到达机构上方时，一级顶升机构将二级顶升机构顶升，二级顶升机构将弹性浮动定位机构顶升，使得弹...
该专利属于长园半导体设备（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长园半导体设备（珠海）有限公司授权不得商用。

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