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配线衬底的制造方法技术
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文档序号:3724205
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本发明提供一种低成本且高效地制造可靠性高的配线衬底的方法。配线衬底的制造方法包括:准备具有基座衬底(10)、形成于基座衬底(10)的表面上的导电膜(20)及形成于导电膜(20)上的多个导线(30)的衬底的工序;形成将导电膜(20)上的相邻的...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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