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本实用新型公开了一种案液相反应碳化硅陶瓷烧结炉,包括烧结炉、悬挂流水线、电驱动系统、真空系统和冷却系统,所述烧结炉中设有石墨坩埚,所述真空系统与烧结炉炉膛连通,用于推动放置于烧结炉中的素坯可于真空状态下浸渍石墨坩埚内硅液发生反应烧结,所述悬...该专利属于山东晶盾新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东晶盾新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种案液相反应碳化硅陶瓷烧结炉,包括烧结炉、悬挂流水线、电驱动系统、真空系统和冷却系统,所述烧结炉中设有石墨坩埚,所述真空系统与烧结炉炉膛连通,用于推动放置于烧结炉中的素坯可于真空状态下浸渍石墨坩埚内硅液发生反应烧结,所述悬...