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本实用新型涉及晶片模腔技术领域，具体为一种裸露晶片的模腔组件，包括上模组件、下模组件；上模组件包括上模支架、吸膜件，吸膜件设置有抽气孔、吸气孔、气道，抽气孔与吸气孔通过气道连通，吸膜件沿上模支架的中心从内向外布置。吸膜件沿上模支架的中心从内...
该专利属于深圳市亿昊精密半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市亿昊精密半导体设备有限公司授权不得商用。

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