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本发明提供一种用于清洗微电子衬底的剥离和清洗组合物，该组合物包括：至少一种有机剥离溶剂，至少一种亲核胺，至少一种不含氮的弱酸，其量足以中和约３重量％～约７５重量％的亲核胺，使得剥离组合物的水相ｐＨ为约９．６～约１０．９，所述弱酸在水溶液中的...
该专利属于马林克罗特贝克公司所有，仅供学习研究参考，未经过马林克罗特贝克公司授权不得商用。

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