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提供一种对高密度的布线图案也能有效率地进行四端子测定的基板检查装置。此基板检查装置使用多个检查用探针，该检查用探针与被设定有多个被检查点的具有多个布线的被检查基板的上述被检查点接触。各检查用探针由电压测定用探针与电流供给用探针构成。此基板检...
该专利属于日本电产丽德株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产丽德株式会社授权不得商用。

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