下载使用激光束形成通孔的方法的技术资料

文档序号:3723801

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本发明提供了一种使用激光束形成通孔的方法。所述方法包括:通过照射具有预定频率的激光束,在第一金属层中形成第一孔;降低具有相同频率的激光束的能量密度;和通过照射具有相同频率的激光束,在介电层形成对应于第一孔的第二孔。...
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