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本实用新型公开了一种镀膜设备,该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统,载具运输线用于运输基体载具,上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载,基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜,中转系统与基体镀膜腔体系统连接,...该专利属于拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种镀膜设备,该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统,载具运输线用于运输基体载具,上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载,基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜,中转系统与基体镀膜腔体系统连接,...