镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备，该镀膜设备包括载具运输线、上下料系统、镀膜腔体系统和中转系统，载具运输线用于运输基体载具，上下料系统用于实现基体在基体载具上的装载与卸载，基体镀膜腔体系统用于实现基体的双面镀膜，中转系统与基体镀膜腔体系统连接，中转系统用于将基体载具在载具运输线和基体镀膜腔体系统之间转换。该镀膜设备在一条连贯的生产线内部实现基体的双面镀膜，产品良率较高，设备布局面积较小，厂房使用效率较高。厂房使用效率较高。厂房使用效率较高。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种镀膜设备。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池属于第三代高效太阳能电池技术，核心设备镀非晶硅薄膜设备分为热丝化学气相沉积设备和等离子体化学气相沉积设备。
[0003]上述两种设备普遍采用单面镀膜的方式，从正面镀膜向背面镀膜转换时，需要采用自动化机构将基体从载板上取出，进行翻面后再装载在载板上，进入下一道工序。翻面时基体会与空气接触，空气中水蒸气、氧气、灰尘等会导致基体后续性能下降。另一方面，现有设备自采用多条生产线配合生产加上腔外的自动化翻面机构，设备的布局面积大，厂房使用效率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种镀膜设备，该镀膜设备在一条连贯的生产线内部实现基体的双面镀膜，产品良率较高，设备布局面积较小，厂房使用效率较高。
[0005]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0006]本技术公开了一种镀膜设备，包括：载具运输线，所述载具运输线用于运输基体载具；上下料系统，所述上下料系统与所述载具运输线连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.镀膜设备，其特征在于，包括：载具运输线，所述载具运输线用于运输基体载具；上下料系统，所述上下料系统与所述载具运输线连接，且用于实现基体在所述基体载具上的装载与卸载；基体镀膜腔体系统，所述基体镀膜腔体系统与所述载具运输线连接，所述基体镀膜腔体系统用于实现所述基体的双面镀膜；中转系统，所述中转系统与所述基体镀膜腔体系统连接，所述中转系统用于将所述基体载具在所述载具运输线和所述基体镀膜腔体系统之间转换。2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述基体镀膜腔体系统包括依次相连的第一镀膜腔室模组、载板转换腔室模组和第二镀膜腔室模组，所述第一镀膜腔室模组用于给所述基体的第一面镀膜，所述载板转换腔室模组用于翻转所述基体载具，所述第二镀膜腔室模组用于给所述基体的第二面镀膜。3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一镀膜腔室模组包括依次排布的装载预热腔室及至少一个第一镀膜工作腔室，所述装载预热腔室与所述第一镀膜工作腔室之间以及相邻的两个所述第一镀膜工作腔室之间均设有第一阀腔。4.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二镀膜腔室模组包括依次排布的至少一个第二镀膜工作腔室和卸料散热腔室，所述卸料散热腔室与所述第二镀膜工作腔室之间以及相邻的两个所述第二镀膜工作腔室之间均设有第二阀腔。5.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括镀膜运输线，且用于运输所述基体载具以使所述基体载具依次穿过所述第一镀膜腔室模组、所述载板转换腔室模组和所述第二镀膜腔室模组。6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述基体载具包括载板框架和安装在载板框架上的基体子板，所述基体子板用于装载多个所述基体；每个所述镀膜运输线均包括多个镀膜运输机构，多个所述镀膜运输机构分别设在所述第一镀膜腔室模组、所述载板转换腔室模组、所述第二镀膜腔室模组的内；每个所述镀膜运输机构均包括运输支撑组件、运输动力组件和运输定位组件，所述运输支撑组件用于支撑所述载板框架，所述运输动力组件用于驱动所述载板框架沿所述镀膜运输线的运输方向运动，所述运输定位组件用于导向所述载板框架滑动。7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，每个所述镀膜运输线均包括多个变距机构和多个滑动机构，每个所述镀膜运输机构均对应所述变距机构以及所述滑动机构设置，所述变距机构用于驱动所述镀膜运输机构沿与所述基体载具的运输方向垂直的方向运动。8.根据权利要求1
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7中任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述上下料系统包括基体上料系统和基体下料系统；所述基体上料系统与所述载具运输线并列设置，且用于将基体装载到所述基体载具上...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴佳，朱鹤囡，董雪迪，张武，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：